408L线性快速温变试验箱

半导体级快速温变试验箱的关键特性

用于半导体可靠性测试的快速温变试验箱必须符合以下严苛要求：必须具备很高的温变速率、出色的温度均匀性与稳定性、精准的温度控制以及优异的长 期运行可靠性

规格参数：

一、适用范围：

1. 温度：-70℃至150℃。

2. 湿度：20%至98%RH。

二、表头控制精度：

1. 温度：±0.3℃

2. 湿度：±2.5%RH

三、表头解析精度：

1. 温度：0.1℃

2. 湿度：0.1%RH

四、加温时间： 常温至150℃，约45分钟。

五、降温时间： 常温至- 40℃，约60分钟。

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408L线性快速温变试验箱

六、机器结构与材质：

3. 内箱材质：SUS＃304耐热耐寒不锈钢板。

4. 外箱材质：SUS＃304高张力不锈钢板，并经多道薄膜游离层表面处理。

5. 保温材质：高密度玻璃棉及高强度PU发泡绝缘材料。

6. 防汗机件：以系统K型管之热能作防汗处理。

7. 门气密材料：高张力parking耐温-90至280℃。

8. 附属设备：

a. 可调式活动盘2只，可任意改变距离。

b. 外接用测试孔乙只，可作动态测试。

c. 广角投射照明设备，采省电高效率日光灯。

d. 多层真空玻璃视窗，防爆型。

e. 附可调固定轴及活动轮4组。

七、冷冻系统及加热系统：

1. 省电型高效率法国泰康压缩机。

2. 采环保R404A冷煤。

3. 全程管路系统氮气加压测漏。

4. 波浪状鳍片型强迫送风冷凝器。

5. 斜率式F I N —T U B E蒸发器。

6.电磁阀；干燥过滤器等冷冻元件。

7. 内螺旋式K —T Y P E冷媒铜管。

8. U —T Y P E高速电热管，加热迅速。

9.加温、降温系统*独立，不需手动控制

1. 高线性温变速率与精准控制

半导体HALT和TCT测试的核心是快速、精确地达到目标温度并维持。温变速率不足会延长测试周期，降低效率；温度控制不精准则可能导致测试结果失真或无法复现。

广皓天TEE-408PF通过优化的制冷/加热系统设计（如复叠式制冷、高效加热器）和控制算法，可实现≥15℃/min的线性温变速率（具体速率范围视型号和温度跨度而定）。其温度控制精度可达±0.5℃，温度均匀性在空载状态下可达±2.0℃，确保测试腔内各点温度高度一致，为可靠性评估提供可信的基础。其温度传感器（通常是高精度Pt100）和快速响应的控制回路是实现精准控温的关键。

2. 温度均匀性与稳定性

半导体器件，尤其是晶圆级或板级测试时，对测试腔内的温度均匀性要求很高。不均匀的温度场会导致被测器件（DUT）各部分应力不同，影响失效判据的准确性。

广皓天TEE-408PF采用优化的风道设计（如多面出风、特殊导流结构）和强力循环风机，确保在高速温变过程中仍能维持优异的温度均匀性（如±2.0℃ @ -70℃）。其腔体保温材料（如高性能玻璃棉）和密封结构有效减少冷热损失，保证温度稳定性。即使在达到目标温度后，也能快速稳定，减少“过冲"或“欠调"现象。

3. 高可靠性与耐久性

半导体可靠性测试往往是长时间、高强度的连续运行（如数百甚至上千次温度循环）。设备的可靠性直接关系到测试计划的执行和结果的有效性。

广皓天TEE-408PF的关键部件（压缩机、加热器、风机、控制系统）均选用工业级或更高标准的品牌元器件，经过严格筛选和老化测试。其结构设计注重维护便捷性（如易于更换的过滤器、?？榛杓疲┖?/span>运行?；?/span>（多重安全报警：超温、过流、风机故障、制冷系统高低压?；さ龋?。坚固耐用的不锈钢内胆能抵抗频繁热胀冷缩应力和测试环境可能的化学腐蚀（如某些助焊剂蒸汽）。TEE-408PF的设计旨在满足7x24小时连续高负荷运行的要求。

4. 满足洁净度与低干扰要求（可选/特定需求）

对于某些敏感器件或特定测试（如晶圆级老化），试验箱内部的颗粒污染或挥发物（来自保温材料、密封件、润滑油等）可能对被测器件造成污染或干扰电性能测试。

广皓天可提供满足更高洁净度要求的TEE-408PF配置选项，例如：
* 低挥发物材料： 使用经过特殊处理的低释气（Low Outgassing）密封材料和保温层。
* 高效空气过滤： 在循环风路中增加高效微?？掌℉EPA）过滤器，有效降低腔体内颗粒物浓度。
* 密封性优化： 增强腔体密封，减少外部污染物侵入和内部材料挥发物逸出。
* 无硅油设计考量： 虽然试验箱本身不像注射器直接接触药物，但若需杜绝硅油挥发物风险（某些特殊应用场景），可在选材和润滑方案上针对性设计（如使用特定合成润滑脂或干式运行设计），这需要与制造商明确需求。